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激光橢偏測厚儀器

最后更新：2010-12-22
關注度：6991
生產企業：北京創盈達科技有限公司

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產品詳細介紹

【所屬類別】光學測量產品　　激光橢偏測厚儀器

【產品簡介】

HST-1/3多功能橢偏測厚儀器是我公司最近推出的教學科研儀器系列產品之一，主要用于固體表面納米級薄膜厚度和折射率、金屬的復折射率。此外，還可以用于研究固體表面及其膜層的光學特性，在半導體、金屬材料、光學、化學、生物學及醫學領域有廣泛的應用。

特點：

      使用方便，簡單；
      測量精度可達±0.5nm和±0.01;
      全自動化，電腦操作，性價比高；

【技術參數】

    測量薄膜厚度范圍：1～300nm（70°入射角，一個周期），折射率范圍：05～2.50；
    起偏角 P 和 A 的讀取分辨為0.05°，范圍0～180°；
    測量膜厚和折射率重復性精度分別為±0.5nm和±0.01;
    入射角連續調節范圍：30°～90°；
    入射光波長：635.0nm;
    樣品真空吸附裝置且可一維掃描（選件）。

【產品方案】

　　橢圓偏振法簡稱橢偏法，是一種先進的測量薄膜納米級厚度的方法。橢偏法的基本原理由于數學處理的困難，直到本世紀40年代計算機出現以后才發展起來。橢偏法的測量經過幾十年來的不斷改進，已從手動進入到全自動、變入射角、變波長和實時監測，極大地促進了納米技術的發展。橢偏法的測量精度很高（比一般的干涉法高一至二個數量級），測量靈敏度也很高（可探測生長中的薄膜小于0.1nm的厚度變化）。利用橢偏法可以測量薄膜的厚度和折射率，也可以測定材料的吸收系數或金屬的復折射率等光學參數。因此，橢偏法在半導體材料、光學、化學、生物學和醫學等領域有著廣泛的應用。

　　系統連接結構示意圖