產(chǎn)品詳細(xì)介紹公司自主研制的0.1微米級精密運動平臺及集成控制系統(tǒng)是微電子制造和測試設(shè)備的核心部件，也是生物醫(yī)療設(shè)備和精密制造業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵部件，這些產(chǎn)品在以上領(lǐng)域的應(yīng)用可以極大提高我國的制造水平，縮小和先進(jìn)國家的差距。
此類平臺是以下行業(yè)的關(guān)鍵部件：
◇半導(dǎo)體、集成電路封裝測試裝備
◇生物工程科研設(shè)備
◇醫(yī)療診斷儀器設(shè)備
◇精密微型制造機械（MEMS）
高精度空氣軸承（Air Bearing）平臺性能指標(biāo)
◇分辨率: 10 nm (納米)
◇重復(fù)性精度 : 50 nm
◇定位精度: 0.1 micron（微米）
◇最大加速度 :
◇最大速度: 500 mm/sec（毫米/秒）
◇設(shè)計行程:
高精度、高動態(tài)直線軸承平臺(Cross Roller)性能指標(biāo)
◇分辨率 : 50 nm (納米)
◇重復(fù)性精度 : 250 nm
◇定位精度 : 1 micron（微米）
◇最大加速度 : 16 Gs（重力加速度）
◇最大速度 : 2000 mm/sec（毫米/秒）
◇行程 : <= 100x100 mm^2，因設(shè)計要求不同而可以定制
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